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本文介绍了ＭＴ－ＵＶ－６１００系列液态抗蚀剂，此外，本文就反应机理，制作工艺流程，曝光与显影参数对质量的影响等方面进行了详细论述。
液态抗蚀剂MT—UV—6100系列的应用
【摘 要】
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本文介绍了ＭＴ－ＵＶ－６１００系列液态抗蚀剂，此外，本文就反应机理，制作工艺流程，曝光与显影参数对质量的影响等方面进行了详细论述。
【机 构】
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南京电子技术研究所
【出 处】
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电子机械工程
【发表日期】
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2000年3期
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