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氧化硅阻隔膜的制备及对水蒸气的阻隔特性研究

来源 :包装工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ltqhan

【摘 要】

：

利用强流电子束蒸发技术在厚度为12μm的PET基材上制备了阻隔性能优良的高阻隔SiOx薄膜.所制备的SiOx薄膜无色透明,与基材附着牢固;PET基材上的SiOx薄膜厚度不同,对水蒸气的

【作 者】

：

王正铎 张跃飞 葛袁静 张广秋 

【机 构】

：

北京印刷学院

【出 处】

：

包装工程

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

氧化硅 阻隔膜 包装 电子束蒸发 SiOx Barrier film Packaging Electron beam evaporation 

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利用强流电子束蒸发技术在厚度为12μm的PET基材上制备了阻隔性能优良的高阻隔SiOx薄膜.所制备的SiOx薄膜无色透明,与基材附着牢固;PET基材上的SiOx薄膜厚度不同,对水蒸气的阻隔性能不同.膜厚为340～3200nm时,阻隔性能可提高1～32倍.通过控制真空度和蒸发速率等参数可以控制SiOx薄膜的有关性能.

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