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磁控技术成膜的工艺研究与微观表征分析
磁控技术成膜的工艺研究与微观表征分析
来源 :科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hymalong
【摘 要】
:
在氩气的气氛中采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备铂薄膜热敏电阻,并对铂薄膜的微观组织进行分析,同时研究了磁控溅射镀膜工艺参数对制备铂薄膜的影响,分析了参数中溅射功率
【作 者】
:
冯侨华
施云波
殷景华
郭建英
【机 构】
:
哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨理工大学测试技术与通讯工程学院
【出 处】
:
科技信息
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
磁控溅射
薄膜
铂
微观表征
magnetron sputtering
thin film
platinum
microstructure charact
【基金项目】
:
哈尔滨市科技攻关项目“环境白适应热膜风速传感器研究”(编号2002 功CG040).国防基础“微机械加工超薄膜型Pt膜温度传感器技术研究”(编号:K1403061112).
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在氩气的气氛中采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备铂薄膜热敏电阻,并对铂薄膜的微观组织进行分析,同时研究了磁控溅射镀膜工艺参数对制备铂薄膜的影响,分析了参数中溅射功率、溅射时间与膜厚的关系。并利用Matlab软件建立了溅射时间、溅射功率与膜厚的三维关系模型图。
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