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相干公司最新推出IndyStar 2 kHz准分子激光器，已完全通过Semi S2认证，采用了几种新的输出稳定化技术以促进T艺提高．使其成为半导体制造、测试、检验以及微加工等应用的理想选择。
相干公司最新推出IndyStar2kHz准分子激光器
【摘 要】
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相干公司最新推出IndyStar 2 kHz准分子激光器，已完全通过Semi S2认证，采用了几种新的输出稳定化技术以促进T艺提高．使其成为半导体制造、测试、检验以及微加工等应用的理想选择
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2010年5期
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