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脉冲功率技术在激光领域中得到广泛的应用，文中介绍毛细管放电泵浦软X射线激光的机理及据此要求设计的高压大电流快脉冲放电泵浦软X射线激光装置的概况。该装置利用Blumlein线作为形成线，以提高输出电压幅值。采用在一个毛细管中插入不同长度的电极方案，解决了不同毛细管长度维持放电回路电感不变的问题。经调试该装置输出电流38kA、脉冲上升前沿40ns，满足了泵浦类氛氩46.9nm激光要求。为了在主脉冲前毛细管中产生均匀的等离子体，设计了外加预脉冲的方案。