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本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)
DSW光刻机中的最短时间自动对准系统
【摘 要】
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本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对
【机 构】
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河北机电学院自动化系,河北机电学院自动化系
【出 处】
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河北机电学院学报
【发表日期】
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1989年01期
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