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微机高倍数光栅信号细分技术及应用
微机高倍数光栅信号细分技术及应用
来源 :中国仪器仪表 | 被引量 : 2次 | 上传用户:DeadManWalk
【摘 要】
:
微机高倍数光栅信号细分技术及应用合肥工业大学精密仪器系孟超,胡生清一、前言光栅计量技术被誉为传感技术从模拟发展到数字化的一项重要技术,其应用范围越来越广。目前国内外在位置精密测量中长光栅栅距一般在8μm以上,圆光栅角节距多在20″以上。但光栅测长分辨...
【作 者】
:
孟超,胡生清
【机 构】
:
合肥工业大学精密仪器系
【出 处】
:
中国仪器仪表
【发表日期】
:
0年ZYQB505.010期
【关键词】
:
光栅计量
信号细分技术
微机
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微机高倍数光栅信号细分技术及应用合肥工业大学精密仪器系孟超,胡生清一、前言光栅计量技术被誉为传感技术从模拟发展到数字化的一项重要技术,其应用范围越来越广。目前国内外在位置精密测量中长光栅栅距一般在8μm以上,圆光栅角节距多在20″以上。但光栅测长分辨
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