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介绍了一种基于激光干涉原理可测量曲面轮廓的表面粗糙度测量仪的组成结构和测量原理,进行了相应的软件开发,并做了实际测量.
一种用于测量曲面轮廓的表面粗糙度测量仪
【摘 要】
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介绍了一种基于激光干涉原理可测量曲面轮廓的表面粗糙度测量仪的组成结构和测量原理,进行了相应的软件开发,并做了实际测量.
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,三峡大学机械与材料学院,华中科技大学机械科学与工程学院仪器系
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2004年8期
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