力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数

来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：king943

【摘要】

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为表征Pb（Zr_（0.52）Ti_（0.48））O_3（PZT）薄膜的横向压电性能,以纯力场鼓包测试模型和铁电薄膜材料压电方程为基础,推导了PZT铁电薄膜的力电耦合鼓包本构模型。采用溶胶-凝胶法制备了PZ

【作者】

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何元东孙长振毛卫国毛贻齐张宏龙陈彦飞裴永茂方岱

【机构】

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湘潭大学材料科学与工程学院,湖南大学机械与运载工程学院,北京大学工学院,北京理工大学先进结构技术研究院

【出处】

：

材料导报

【发表日期】

：

2017年15期

【关键词】

：

横向压电系数鼓包测试力电耦合本构锆钛酸铅薄膜 transverse piezoelectric coefficient bulge test mechan

【基金项目】

：

国家自然科学基金（11272276,11572277,11302004）, 湖南省自然科学基金杰出青年基金（14JJ1020）, 国家重大科学仪器设备开发专项（2012YQ03007502）

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为表征Pb（Zr_（0.52）Ti_（0.48））O_3（PZT）薄膜的横向压电性能,以纯力场鼓包测试模型和铁电薄膜材料压电方程为基础,推导了PZT铁电薄膜的力电耦合鼓包本构模型。采用溶胶-凝胶法制备了PZT铁电薄膜,并通过化学腐蚀法获得PZT薄膜鼓包样品。在外加电压为0~14V的条件下进行鼓包测试。结果表明,在纯力场作用下,PZT薄膜的弹性模量和残余应力分别为91.9GPa和36.2MPa;随着电压从2V变化到14V,PZT薄膜的横向压电系数d31从-28.9pm/V变化到-45.8pm/V。本工作所发

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