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本文描述了随着超大规模集成电路(VLSI)的迅速发展形成的激光直写(Laser dire-ct writing)加工技术的概况,基本原理及典型设备。讨论了激光直写薄膜沉积、腐蚀、烧蚀和掺杂技术,同时介绍了这种技术在提高VLSI成品率和研制速率方面的应用。
激光直写加工技术—开发超大规模集成电路的有力工具
【摘 要】
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本文描述了随着超大规模集成电路(VLSI)的迅速发展形成的激光直写(Laser dire-ct writing)加工技术的概况,基本原理及典型设备。讨论了激光直写薄膜沉积、腐蚀、烧蚀和掺杂技
【机 构】
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河北大学电子与信息工程系保定071002
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1993年4期
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