RF—MBE生长AlGaN／GaN二维电子气材料

来源 :材料科学与工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaochouyu005

【摘要】

：

用射频等离子体辅助分子束外延技术(RF-MBE)在C面蓝宝石衬底上外延了高质量的GaN膜以及A1GaN/GaN极化感应二维电子气材料.所外延的GaN膜室温背景电子浓度为2×1017cm-3,

【作者】

：

胡国新孙殿照王晓亮刘宏新刘成海曾一平李晋闽林兰

【机构】

：

中国科学院半导体所材料中心

【出处】

：

材料科学与工艺

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

RF-MBE 二维电子材料 ALGAN/GAN 半导体材料分子束处延生长氮化镓铝镓氮三元合金 RF-MBE2DEGHFETAlGaN/GaN

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用射频等离子体辅助分子束外延技术(RF-MBE)在C面蓝宝石衬底上外延了高质量的GaN膜以及A1GaN/GaN极化感应二维电子气材料.所外延的GaN膜室温背景电子浓度为2×1017cm-3,相应的电子迁移率为177 cm2/Vs;GaN(0002)X射线衍射摇摆曲线半高宽(FWHM)为6 arcmin.;A1GaN/GaN极化感应二维电子气材料的室温电子迁移率为730 cm2/Vs,相应的电子气面密度为7.6×1012 cm-2;用此二维电子气材料制作的异质结场效应晶体管(HFET)室

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