【摘 要】
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<正>2.纳米技术 在世界范围内,精密工程师们在商定设计的原则。面临的挑战是要创造性地运用它们以获得深思熟虑的设计。目前,一些最精密的机器和先进的技术已被用来补偿各种
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<正>2.纳米技术 在世界范围内,精密工程师们在商定设计的原则。面临的挑战是要创造性地运用它们以获得深思熟虑的设计。目前,一些最精密的机器和先进的技术已被用来补偿各种误差,诸如残留的几何误差、由机器的动力所引起的误差或者热力—机械作用所引起的误差。精密工程的今后发展,需要达到纳米级或者甚至次纳米级的定位和测量精度,要求具有集成控制和误
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