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报道了紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究，金属钯是一种优良的催化剂，首先在各种衬底上面淀积靶的金属有机化合物薄膜，通过紫外分解钯的金属有机化合物，形成数埃到几十埃的色膜，然后再利用钯的催化效应，在无电极电镀中淀积出几十纳米到几微米厚的各种金属薄膜（如Cu、Au、Ni等）。
准分子紫外光源低温生长金属薄膜
【摘 要】
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报道了紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究，金属钯是一种优良的催化剂，首先在各种衬底上面淀积靶的金属有机化合物薄膜，通过紫外分解钯的金属有机化合物，形成数埃到几十埃
【机 构】
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临沂师范学院化学系,临沂粮食学校基础部
【出 处】
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临沂师范学院学报
【发表日期】
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2000年6期
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