【摘 要】
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本文介绍了AlGaAs/GaAs系列HEMT用的调制掺杂(MD)材料的研制工作,并且给出了用该材料研制的器件结果。
This article describes the development of AlGaAs / GaAs series o
【机 构】
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中国科学院半导体所 北京 100083
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本文介绍了AlGaAs/GaAs系列HEMT用的调制掺杂(MD)材料的研制工作,并且给出了用该材料研制的器件结果。
This article describes the development of AlGaAs / GaAs series of modulation doped (MD) materials for HEMTs, and gives the device results developed using this material.
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