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电化学微／纳加工分辨率的影响因素及对策
【机 构】
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厦门大学化学系
【出 处】
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物理化学学报
【发表日期】
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1997年11期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,国防科工委预研项目青年基金
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