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VO2薄膜制备技术及其应用进展
VO2薄膜制备技术及其应用进展
来源 :卷宗 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kxianwen
【摘 要】
:
本文综述了溅射法、溶胶-凝胶法、蒸发法、常压化学气相沉积法等制备VO2薄膜的方法,并对其应用现状进行了阐述,对发展趋势进行了预测。
【作 者】
:
张士举
【机 构】
:
攀枝花学院
【出 处】
:
卷宗
【发表日期】
:
2014年12期
【关键词】
:
二氧化钒
制备
应用
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本文综述了溅射法、溶胶-凝胶法、蒸发法、常压化学气相沉积法等制备VO2薄膜的方法,并对其应用现状进行了阐述,对发展趋势进行了预测。
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