Fe—Cr—Al电热合金气相反应原位生成绝缘膜的研究

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利用气相反应法在Fe-Cr-Al电热合金表面原位生成了耐高温的绝缘膜。绝缘膜主要由α-Al2O3相组成,膜的绝缘性良好,生长符合抛物线规律。另外研究了表面质量、氧压、反应时间及合金元素等因素对绝缘膜击穿性能的影响。
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