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<正>纳米尺度的检测与表征是纳米科技得以发展的必要条件,对于纳米材料,其独特的电学、光学等特性吸引了科学家的广泛关注,这些材料的厚度对其性能起着决定性的作用。而原子力显微镜(AFM)作为一种新型的表面检测仪器,主要通过检测探针与样品之间的相互作用力进而在纳米尺度范围内获得纳米材料表面形貌信息。由于AFM在三个方向(x、y、z)均具有较高的分辨率,