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浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用
浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用
来源 :超硬材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:reg8c4user
【摘 要】
:
电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟。文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的
【作 者】
:
曹艳芬
宋庆军
闫凯
【机 构】
:
济宁半导体及显示产品质量监督检验中心
【出 处】
:
超硬材料工程
【发表日期】
:
2017年4期
【关键词】
:
电镀金刚石线
切割
硅材料
应用现状
electroplated diamond wire
cutting
silicon material
applic
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电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟。文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景。
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