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介绍一种新颖的超小型多倍频程5位GaAs MMIC数字移相器的设计，制造和性能。电路拓扑特定选择工艺参数变化对电性能影响最小的方案，22.5℃和11.25℃相移位采用共享一个兰格耦合器的电路拓扑，在5GHz～20GHz频率范围内，获得低峰值相移误差≤5°对180°、90°、45°相移位，≤2.5°对22.5°和11.25°相位移；低输入/输出驻波比≤1.8；低插入损耗起伏（10dB±0.8dB）和小芯片尺寸（4.2mm