用于离子镀膜的高压单脉冲引弧技术

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我们在研究离子镀膜技术的过程中,实验成功高压单脉冲引弧方法,用于引燃离子镀膜机中的直流电弧。高压单脉冲引弧方法同目前现有的直流高压引弧方法和高频引弧方法相比,具有操作安全、节省能源以及不需要采用单独的引弧电源等特点。这种引弧方法是采用一个附加在电弧电源输出端的高压单脉冲引弧电路。利用电弧电源的空载输出电压对这种引弧电路进行供电。由于引弧电路的输出端并联有阻尼二极管,当引弧电路中的电容器对脉冲变压器进行放电时,在引弧电路的输出端便能产生高压单脉冲。研制成功的高压单脉冲引弧方法,能在约3×10-3。乇的工作气压下,可靠地引燃离子镀膜机中的直流电弧。
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