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利用无机络合溶胶一凝胶法制备多孔ZnO薄膜,同时利用多种测试手段对薄膜的晶体结构、表面形貌、多孔和光学性能进行了研究.XRD和SEM的测试结果表明,ZnO薄膜的晶体结构为六方纤锌矿,薄膜表面呈多孔状.由孔径分布曲线得出薄膜的孔主要集中在介孔2.02nm和4.97nm;500℃煅烧得到的ZnO薄膜的比表面积是27.57m^2/g;在不同温度下煅烧的薄膜在可见光区域透射率均高于85%,光学带宽为3.25eV.