电容阵列柔性压力传感器设计与分析

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针对现有的柔性电容式压力传感器精度低、重复性差、大面积应用难度大等缺点,设计了一种柔性电容式压力传感器,可用于生理信息监测或机器人皮肤等领域.该传感器结构基于交叉电极式电容阵列,材料及制备工艺简单,易于大面积扩展应用,可对接触状态进行定量反馈.实验表明,该传感器能够感知0~70 kPa范围的压强,可清晰分辨人手、脚等接触压力信息;电容灵敏度约1.17% V/kPa;响应速度可达30 f/s,可实现压力信息的实时图形化显示.
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