【摘 要】
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采用ＭｅＦ３金相显微镜对ＣＶＤ金刚石膜－硬质合金基体横截面的组织进行了观察，重点研究了甲烷浓度对ＣＶＤ金刚石膜－基横截面各组织层次的影响。结果表明；硬质合金基体的表面组织发生了显著的变化，形
【机 构】
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华南理工大学机电系,广州有色金属研究院
【基金项目】
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广东省科委基金,广东省高教厅基金
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采用ＭｅＦ３金相显微镜对ＣＶＤ金刚石膜－硬质合金基体横截面的组织进行了观察，重点研究了甲烷浓度对ＣＶＤ金刚石膜－基横截面各组织层次的影响。结果表明；硬质合金基体的表面组织发生了显著的变化，形成了不同的组织层次，在化学侵蚀脱钴和等离子体刻蚀脱碳预处理的基础上所沉积的金刚石膜－基横截面组织层次为：金刚石膜／薄的石墨或游离碳层／细小ＷＣ层／残留脱碳层残留疏松层／ＹＧ８基体，甲烷浓度对各层次的形成和厚度有
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