【摘 要】
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<正> 近年来,随着半导体和集成电路的迅速发展,人们常提到超纯水水质如何适应微电子工业要求的问题。在各国现有的标准中,大多是由一些半导体厂家和水处理公司提供的,最近几
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<正> 近年来,随着半导体和集成电路的迅速发展,人们常提到超纯水水质如何适应微电子工业要求的问题。在各国现有的标准中,大多是由一些半导体厂家和水处理公司提供的,最近几年也有学会颁布的,尽管标准中所列的指标大同小异,但仍有差别,有的甚至会达到一个数量级,特别是由水处理公司提供的数据往往是从商业需要出发,可谓品类繁多。为了避免使用上的盲目性,建立符合我国国情的超纯水标准,乃是当务之急。一、微电子与超纯水
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