【摘 要】
：
利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX-切石英单晶,并在石英上镀ZnO薄膜,叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指
【机 构】
：
华中科技大学武汉光电国家实验室,常州智梭传感科技有限公司
论文部分内容阅读
利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX-切石英单晶,并在石英上镀ZnO薄膜,叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指换能器的高度、金属化率变化对声表面波温度传感器性能的影响,并根据仿真结果设计和制作了一种镀ZnO薄膜的SAW温度传感器。测试结果表明,制作的传感器灵敏度较高(8.8kHz/℃),误差小,具备良好的温度-频率特性。
其他文献
随着全球化经济和计算机网络技术的快速发展,电子商务模式发生了重大变化。电子商务模式下网络营销渠道形式有多种,网络营销的出现使得原有市场营销理论和实务的存在基础也相
爱丽丝与爱伦诺·勋菲尔德国际弦乐比赛于2014年明在中国的哈尔滨举行。这是一次难得的音乐盛会,也是顶尖级名家云集的舞台。作为一名哈尔滨的音乐爱好者,我想,只有以缪斯的
用四氯化碳（Ccl4）灌服大鼠造成肝损伤模型后,分别用两种不同剂量的竹节参醇提物灌服大鼠（治疗组）,以探索竹节参对肝损伤的保护作用。结果发现:两个治疗组血清中谷丙转氨酶（GPT）的水
随着经济的飞速发展,各种水环境问题日益突出。我国水资源严重短缺,加之水体污染严重,直接威胁到民众的健康和生命安全。该文介绍了几种目前常用的废水处理工艺,并着重对气浮
人口、资源、环境与经济系统的协调是城市经济系统可持续发展的核心,但系统协调度的量化具有高度的复杂性、开放性和不确定性.以重庆市都市区为例,采用协调度模型(公式)计算
目的 观察竹节人参提取物对脑缺血再灌注损伤的保护作用;方法 采用大鼠和小鼠脑缺血再灌注模型;取SD大鼠及昆明种小鼠各 40只,各随机分为 4组,SD大鼠给药组分别给于竹节人参
基础架构分区需要考虑的因素较多,各种因素相互制约、相互影响。根据各因素之间的连接关系,对本地网分区规划需要考虑的内容进行简要分析,并定性分析综合业务接入区内机房数
<正> 西部大开发以来,北方荒漠化草原治理表现出明显的政府主导型特征,即政府在供给一系列强有力的生态治理政策的同时,投入了大量的人力、物力和财力,采取了包括禁牧,退牧还
实践取向的教师培训是一种以中小学为基地,把教育实践作为主渠道,高校与中小学密切合作共同完成培训任务的培训模式。实践取向的教师培训所倡导的教育实践是"反思型实践",中
<正>1975年至1979年,我在上海音乐学院音乐研究室学习民族音乐理论,毕业后留校工作,历任资料员、助教、讲师、副教授等。1995年调入上海有线电视台音乐频道,历任编导、监制、