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ZnO:Al薄膜以其低电导率、高可见光透射率、高红外光反射率等光电特性和原料易得、低成本、无毒、易掺杂、在等离子体中稳定性好、易刻蚀等特点,在平板显示器件、太阳能电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层等领域有着广阔的应用前景.在重点讨论ZnO:Al薄膜的组织结构、导电机制、透光机制以及搀杂和制备工艺等对ZnO:Al薄膜结构与光电特性的影响基础上,指出了ZnO:Al薄膜目前存在的问题并提出了今后研究的努力方向.