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六自由度离子束抛光设备控制系统关键技术研究
六自由度离子束抛光设备控制系统关键技术研究
来源 :组合机床与自动化加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:TDH39520007
【摘 要】
:
介绍了六自由度离子束抛光机床控制系统的总体构架.重点对控制系统研制过程中的关键问题进行探讨,包括特殊真空环境下的驱动控制措施、高真空抽取及稳定性控制方法以及离子源
【作 者】
:
吉方
陈东生
徐敏
戴晓静
【机 构】
:
复旦大学信息科学与工程学院,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
:
组合机床与自动化加工技术
【发表日期】
:
2014年7期
【关键词】
:
离子源
高真空环境
驱动控制
稳定性
ion source high vacuum environment driven control stability
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介绍了六自由度离子束抛光机床控制系统的总体构架.重点对控制系统研制过程中的关键问题进行探讨,包括特殊真空环境下的驱动控制措施、高真空抽取及稳定性控制方法以及离子源参数的稳定性控制策略.
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