论文部分内容阅读
本文主要讨论了采用光谱法提取低辐射玻璃膜层介质材料SixNy和ZnAlOx光学常数。在北玻SE2540离线磁控溅射镀膜生产线上,以6mm白玻为基片,制备SixNy和ZnAlOx单层膜样片。使用紫外一可见分光光度计lambda950测得样片380~2500nm波长范围内的光谱数据;使用XP-200台阶仪测得膜层的实际厚度。使用code软件构建材料模型和膜系结构,以光谱法拟合提取材料的光学常数,并同时得到膜层的厚度。两个样片的拟合膜厚值与实测膜厚值误差分别为5.28%、0.22%,均小于6%,从而验证了所提取