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在表面微机械加工技术中，当牺牲层腐蚀后，已被释放的表面可动微结构会粘结在衬底上使器件失效。
一种表面可动微结构的释放新工艺
【摘 要】
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在表面微机械加工技术中，当牺牲层腐蚀后，已被释放的表面可动微结构会粘结在衬底上使器件失效。
【机 构】
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复旦大学传感器研究室,西班牙国家微电子中心
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年7期
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