压力传感器用NiCr纳米薄膜

来源 :第二届全国纳米技术与应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:prettyxu
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采用离子束溅射纳米薄膜技术和半导体微细加工技术,将纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上,实现了敏感元件与弹性体的原子结合,有效地解决了传统压力传感器中"零点漂移"技术难题,真正实现了在高温、振动等恶劣环境下的长期稳定性和可靠性.
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