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本文较全面地讨论了近几年来国外有关利用扫描探针显微镜进行纳为尺度表面改性和微细加工工作的现状和发展，重点讨论了主尺寸光刻制板技术的发展。最后，本文简要介绍本课题组利用扫描隧道显微镜进行纳米尺度曝光的有关工作，希望引起更多科技工作者的重视，以便进一步推进我国在纳米技术领域的发展。
扫描探针显微镜的纳米尺度表面改性和微细加工技术
【摘 要】
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本文较全面地讨论了近几年来国外有关利用扫描探针显微镜进行纳为尺度表面改性和微细加工工作的现状和发展，重点讨论了主尺寸光刻制板技术的发展。最后，本文简要介绍本课题组利
【机 构】
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西安交通大学电信学院
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1997年8期
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