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本发明涉及一种六氟化硫废气的处理方法。先将六氟化硫废气引入含有脱氟剂的反应炉中．进行六氟化硫裂解反应．得到反应尾气和反应尾渣，其中。脱氟剂为氟化钠、硅粉、金属氧化物组成的混合物。再将得到的反应尾气通入水中，进行过滤和干燥．得到粉末状硫磺。本发明选择在无水条件下将六氟化硫与固态脱氟剂混合．发生反应使六氟化硫分解．六氟化硫分解率高，