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采用磁控溅射法镀制ZnO薄膜，通过椭偏仪和四探钎测试仪分析了氧气浓度对薄膜光电性能的影响。结果表明：随着氧分压的增加，薄膜折射率呈变大的趋势，电阻率升高，导电性能降低。
氧气浓度对ZnO薄膜光电性能的影响
【摘 要】
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采用磁控溅射法镀制ZnO薄膜，通过椭偏仪和四探钎测试仪分析了氧气浓度对薄膜光电性能的影响。结果表明：随着氧分压的增加，薄膜折射率呈变大的趋势，电阻率升高，导电性能降低。
【机 构】
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东华理工大学核工程技术学院,西安工业大学光电工程学院,宜黄县建筑综合管理站
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2008年20期
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