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紫外光刻被认为是经典光刻的潜在替续者,本文给出几种典型的具有现代水平的设计,着重介绍环场投影系统的设计特色,讨论了某些新设计的投影系统的特殊性质.
下一代光刻候选技术：极紫外光刻
【摘 要】
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紫外光刻被认为是经典光刻的潜在替续者,本文给出几种典型的具有现代水平的设计,着重介绍环场投影系统的设计特色,讨论了某些新设计的投影系统的特殊性质.
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2001年9期
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