用E×B质量分析器分析Au－Si液态金属离子源（LMIS）的束流成分

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【摘要】

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本文介绍了Ａｕ－ＳｉＬＭＩＳ的结构以及源的发射特性，利用Ｅ×Ｂ质量分析器，获得了Ａｕ－ＳｉＬＭＩＳ的质谱图，对实验误差进行了理论分析 In this paper, the structure of Au-SiLMIS and the emission characteristi

【作者】

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康文运董桂芳应根裕汪健如

【机构】

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清华大学电子工程系

【出处】

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电子器件

【发表日期】

：

1996年04期

【关键词】

：

质量分析器 Au LMIS Si 离子源液态金属质谱图发射特性偏转电压聚焦离子束

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本文介绍了Ａｕ－ＳｉＬＭＩＳ的结构以及源的发射特性，利用Ｅ×Ｂ质量分析器，获得了Ａｕ－ＳｉＬＭＩＳ的质谱图，对实验误差进行了理论分析 In this paper, the structure of Au-SiLMIS and the emission characteristics of the source were introduced. The mass spectra of Au-SiLMIS were obtained by using E × B mass analyzer, and the experimental error was analyzed theoretically

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