【摘 要】
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设计并制作了一种X波段的电容式RF MEMS开关.该开关在共面波导上的悬空金属膜桥的支撑梁呈螺旋结构,其等效电感值高达134 pH,有效降低了'关'态的谐振频率.结合开关的
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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设计并制作了一种X波段的电容式RF MEMS开关.该开关在共面波导上的悬空金属膜桥的支撑梁呈螺旋结构,其等效电感值高达134 pH,有效降低了'关'态的谐振频率.结合开关的等效电路模型,使用Agilent ADS软件以及理论公式计算对该开关进行了设计和优化.与传统桥膜电容式开关相比,所介绍的开关'关'态隔离性能得到了很大提高.利用表面微机械工艺,在高阻硅衬底上制备了开关样品.X波段MEMS开关的在片测试结果表明:驱动电压为9 V,'开'态的插入损耗约0.69
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