带管腔应变式压力传感器多自由度建模法

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采用“共振峰提取”的方法对带管腔结构的平膜片应变式压力传感器建立了动态数学模型。利用传感器的时域校准数据得到了传感器的参数模型,进而求得了传感器的频率特性。实验结果和仿真计算表明,“共振峰提取”法在传感器动态模型建立方面有一定的工程应用价值。 A dynamic mathematical model of a flat diaphragm strain gauge pressure sensor with a tube structure was established by the method of “formant extraction”. The time-domain calibration data of the sensor is used to get the parameter model of the sensor, and the frequency characteristics of the sensor are obtained. The experimental results and simulation results show that the “resonance peak extraction” method has certain engineering application value in the establishment of sensor dynamic model.
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