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文章介绍了平面平晶平面度测量常用的方法之一:用等厚干涉法,测量工作平晶平面度时的误差来源、类型、不确定度合成方法及各分量对测量结果的影响程度。
平面平晶平面度测量结果的不确定度评定
【摘 要】
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文章介绍了平面平晶平面度测量常用的方法之一:用等厚干涉法,测量工作平晶平面度时的误差来源、类型、不确定度合成方法及各分量对测量结果的影响程度。
【机 构】
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苏州市计量测试研究所江苏苏州215006
【出 处】
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工业计量
【发表日期】
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2006年S1期
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