Design and Fabrication of Polymer Arrayed Waveguide Grating

来源 :中国邮电高校学报(英文版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:itismewhq
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In this paper, based on the principle of Arrayed Waveguide Grating (AWG) theory, some important parameters are optimized for polymer AWG around the central wavelength of 1.55μm with the wavelength spacing of 1.6nm. Then, a 9×9 polymer AWG is designed and the fabricating process are described. The cladding material is poly-methyl-methacrylate-co-glyciclyl methacrylate (PMMA-GMA) and the core material is the mixture of PMMA-GMA and bis-phonel-A epoxy. In order to obtain a better shape of the waveguide after the Reactive Ion Etching (RIE) using oxygen, an aluminum mask is used on polymer instead of conventional photoresist as mask in the fabrication process. The measuring results indicate that the fabricated optical waveguide achieves single-mode transmission.
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