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二次离子质谱是一种用于分析固体材料表面组分的重要手段,广泛应用于化学、生物学、微电子、陶瓷、新材料研究等领域.基于二次离子质谱测试原理,分析了其在材料研究过程中的定性分析、杂质定量分析、深度剖面分析、分布成分分析等,为材料研究同行提供借鉴.
二次离子质谱分析研究进展
【摘 要】
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二次离子质谱是一种用于分析固体材料表面组分的重要手段,广泛应用于化学、生物学、微电子、陶瓷、新材料研究等领域.基于二次离子质谱测试原理,分析了其在材料研究过程中的定性分析、杂质定量分析、深度剖面分析、分布成分分析等,为材料研究同行提供借鉴.
【机 构】
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陕西宝光真空电器股份有限公司 宝鸡 721000
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2021年12期
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