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期刊论文
电子能谱二氧化硅标准物质的研制
电子能谱二氧化硅标准物质的研制
来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guojade_2009
【摘 要】
:
本文主要阐述了标准物质SiO<sub>2</sub>的制备与研究以及用AES测定其界面宽度时的各种影响因素。文献综述了三种界面宽度的计算方法和修正因子,并指出了各自的优缺点。
【作 者】
:
严申生
刘德中
薛正镠
【机 构】
:
上海测试技术研究所,上海测试技术研究所
【出 处】
:
真空科学与技术学报
【发表日期】
:
1990年6期
【关键词】
:
电子能谱
影响因素
文献综述
修正因子
标准参考物质
深度分辨率
离子束效应
计算方法
界面区域
STER
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本文主要阐述了标准物质SiO<sub>2</sub>的制备与研究以及用AES测定其界面宽度时的各种影响因素。文献综述了三种界面宽度的计算方法和修正因子,并指出了各自的优缺点。
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