【摘 要】
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<正>根据《声学学报》优秀论文评选办法,经过《声学学报》编辑委员会两轮评选,编委会一致同意,决定授予李俊红、魏建辉、马军、任伟、刘梦伟、汪承灏等同志的"ZnO薄膜硅微压
【机 构】
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中国声学学会《声学学报》编辑委员会;
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<正>根据《声学学报》优秀论文评选办法,经过《声学学报》编辑委员会两轮评选,编委会一致同意,决定授予李俊红、魏建辉、马军、任伟、刘梦伟、汪承灏等同志的"ZnO薄膜硅微压电矢量水听器"(《声学学报》,2016年第41卷第3期第273—280页)一文为《声学学报》2016年度优秀论文奖。编委会认为:李俊红、魏建辉、马军、任伟、刘梦伟、汪承灏等同志的"ZnO薄膜硅微压电矢量水听器"(《声学学报》,2016年第41卷第3期第273—280页)研制了一种基于ZnO薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用MEMS技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。研究得出加速度计的灵敏度和谐振频
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