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介绍了超薄柱腔的制备工艺，在原有制备柱腔工艺基础上，通过对芯轴和镀膜方法的改进，以及对腐蚀溶液及配比的改进，解决了超薄壁柱腔难自立和在腐蚀过程中易破裂的问题，成功地制备出１μｍ左右的超薄壁柱腔。
1μm超薄壁柱腔的研制
【摘 要】
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介绍了超薄柱腔的制备工艺，在原有制备柱腔工艺基础上，通过对芯轴和镀膜方法的改进，以及对腐蚀溶液及配比的改进，解决了超薄壁柱腔难自立和在腐蚀过程中易破裂的问题，成功地制备出
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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1998年4期
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