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压电陶瓷驱动的微步进机构研制
压电陶瓷驱动的微步进机构研制
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wutongyu520
【摘 要】
:
研制了一种压电陶瓷驱动的微步进机构,介绍了步进机构的工作原理,进行了可行性实验,测试了步进机构的步长和动态响应性能,给出了运动速度的近似公式.实验表明,该步进机构能够
【作 者】
:
何玉琳
章海军
林晓峰
【机 构】
:
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
压电陶瓷
微步进机构
步进运动
研制
piezo elementmicro step mechanismstep motion
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研制了一种压电陶瓷驱动的微步进机构,介绍了步进机构的工作原理,进行了可行性实验,测试了步进机构的步长和动态响应性能,给出了运动速度的近似公式.实验表明,该步进机构能够实现高速度、小步长(纳米至微米级)、大行程的步进运动.
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