纳米三坐标测量机的精度设计

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利用现代精度设计思想,根据纳米三坐标测量机的结构设计,分析了影响其精度的各项误差源,提出所需检定仪器的具体技术指标;根据给定的精度指标设计合理的精度分配方案,精度设计的结果满足纳米三坐标测量机的测量精度要求。 According to the structure design of the Nano CMM, the various error sources that affect its accuracy are analyzed, and the specific technical indexes of the required verification instruments are put forward. According to the given accuracy index, a reasonable precision distribution scheme is designed, The result of the precision design meets the measurement accuracy requirements of the nano-CMM.
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