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由于真空器壁对气体分子的吸附作用，钛泵－不锈钢超高真空系统的静肪升压特性与普通真空系统有很大不同。用通常的办法估算其漏率是行不通的。基于作者的实验结果，对这类系统的静态升压规律作了探讨，并给出了估算“真实漏率”的公式。
钛泵—不锈钢超高真空系统静态升压特性研究
【摘 要】
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由于真空器壁对气体分子的吸附作用，钛泵－不锈钢超高真空系统的静肪升压特性与普通真空系统有很大不同。用通常的办法估算其漏率是行不通的。基于作者的实验结果，对这类系统的静
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1999年4期
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