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硅微无阀泵具有结构、工艺简单，可集成性好等优点。本文分析了无阀泵的工作原理，给出了无阀泵工作的静、动态模型。对制作的硅微收缩／扩张管进行了过流试验研究。试制的电磁驱动无阀泵的最大流量可达３０μｌ／ｍｉｎ，最高背压约１０ｃｍ水柱高。
一种新型硅微泵
【摘 要】
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硅微无阀泵具有结构、工艺简单，可集成性好等优点。本文分析了无阀泵的工作原理，给出了无阀泵工作的静、动态模型。对制作的硅微收缩／扩张管进行了过流试验研究。试制的电磁驱动
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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