【摘 要】
：
介绍了微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射设备的结构和工作原理,详细叙述了利用该设备制备类金刚石膜的过程.Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;采用原子力显微镜(AFM)观
论文部分内容阅读
介绍了微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射设备的结构和工作原理,详细叙述了利用该设备制备类金刚石膜的过程.Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观表面形貌,均方根粗糙度大约为1.9nm,结果表明薄膜表面非常光滑;利用CERT微摩擦计进行摩擦、磨损和划痕实验,薄膜的平均摩擦系数较小,大约为0.175;DL(膜和Si衬底磨损情况的扫描电镜图片相对比,可以看到DLC膜的磨痕小的多,说明薄膜有较好的耐磨性能;划痕测试结果表明制备薄膜临界载荷大约为40mN.
其他文献
教材内容一直是学校教育的主要课程资源,是课程内容重要的载体,是课程理念的具体表现.教师的使命,更多的是为学生提供适切的教学资源,唤醒和激励学生亲自去接触、体验语文,感
目的 探经颈静脉肝内门体分流术(Tipss)治疗门脉高压和消化道出血的临床疗效观察。方法 对12例肝硬化并发门脉高压症和消化道出血的病人行Tipss，检测门脉主干压，门腔梯度压，门脉
针对高超声速飞行器再入过程中强耦合特性和干扰所带来的非匹配不确定控制问题，提出了一种新的含干扰观测补偿的滑模姿态控制设计方法。首先，基于高超声速飞行器姿态动力学模型
目的分析家庭式护理健康指导对老年慢性肺心病患者生活质量的影响。方法本次研究选取2018年1月~2019年2月老年慢性肺心病患者60例作为对象,将60例患者分成两组,按护理方式的
随着我国科学技术的进步，水利工程中的勘测技术也得到了进一步的发展，无论是在勘测技术上还是在测量方法上都得到了提高，在地质调查工作中应用了很多的现代科学技术，实现了地质勘
新时代金融服务于实体经济离不开供给侧结构性改革,更离不开风险防范,根本落脚点在于资金投向。影子银行满足了实体经济的资金需求,但可能会放大宏观经济波动。基于面板回归
中国的经济体制改革已经在各个层次的人群中深入，中国的市场经济正在逐步改善。第三产业中的主要产业——旅游业，我国有着风景和旅游资源极其丰富的文化旅游资源，如果能够合理开
学校体育作为教育过程中的重要一环,对学生全面发展有着极其重要且不可代替的作用,如何更好的发挥学校体育的作用,不仅关系到学生体质的增强、身心健康的全面发展,更关系到竞
《清华大学藏战国竹简(六)》所载《子产》篇为论说文,主要是论述子产执政史实和相关政法举措,《子产》篇与《左传》相关篇章可以对读,从而让人对子产制"刑书"的历史渊源、内
目的分析护理安全管理在妇科患者围手术期中的应用,以此探讨护理安全管理在妇科患者围手术期的临床价值。方法选取2017年04月~2019年04月我院的180例围手术期妇科患者进行临