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介绍了半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型.
干式真空泵的优化选择
【摘 要】
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介绍了半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型.
【机 构】
：
普旭真空设备国际贸易（上海）有限公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2004年6期
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